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三、單槽式超聲波清洗機
OYA-1000單槽系列超聲波清洗機
簡介: 適用于太陽能電池生產(chǎn)制造設備,包括硅料酸洗、硅片脫膠、腐蝕制絨、擴散前硅片清洗、去磷硅玻璃設備,以及硅片裝片機、插片機、檢測設備等。
應用范圍:
1)主要用于單、多晶硅太陽能電池片生產(chǎn),擴散前的絨面腐蝕和清洗;
2)工藝流程:
上料→HF+HNO3腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮 氣鼓泡+噴淋→下料→離心機甩干(離線);
3)設備采用龍門式機械手方式移動,其工藝時間可以自行調(diào)節(jié),酸堿槽具有自動補液裝置,可實現(xiàn)無間斷生產(chǎn)。能顯示溫度曲線、濃度變化曲線,及各個工位的工作狀態(tài)。具有設備報警說明,報警歷史查詢功能。對清洗用純水有電阻率監(jiān)測裝置,能存儲10個以上工藝方案;
4)標準工藝下產(chǎn)量:125mm×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片,適用于投產(chǎn)厚 度為160±30~200±30微米的硅片,硅片產(chǎn)能不低于1200片/小時,設備開工率>92﹪,碎片率≤3‰。
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